70年代末，人们用离子镀制成氮化钛膜，沉积温度低于550摄氏度，可镀在高速钢上，使高速钢刀具的涂覆率达到50%以上
氮化钛靶材--TiN粉末一般呈黄褐色，**细TiN粉末呈黑色，而TiN晶体呈金。TiN熔点为2950℃，密度为5.43-5.44g/cm3，莫氏硬度8-9，抗热冲击性好。TiN熔点比大多数过渡金属氮化物的熔点高，而密度却比大多数金属氮化物低，因此是一种很有特色的耐热材料。TiN的晶体结构与TiC的晶体结构相似，只是将其中的C原子置换成N原子。
有二氮化二钛(Ti2N2)和四氮化三钛(Ti3N4)两种。二氮化二钛为固体。溶于煮沸的王水。遇到热的氢氧化钠溶液则有氨放出。四氮化三钛的性质与二氮化二钛相似。
氮化钛靶材---氮化钛膜是指由钛氮化合物组成的薄膜。氮化钛属于间隙化合物，具有美丽的金光泽，化学稳定性好，熔点高达3000℃，维氏显微硬度为20GPa左右。
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