合肥钨钛合金靶材

钨钴钛类硬质合金是在钨钴类硬质合金的基础上适当增加一些钛化物。钛的碳化物的硬度比碳化钨更高，耐磨性也更好。这些特性使它在切削钢材等长切屑材料时的表现更为优越。类似与高速钢中碳化钨机理对硬质合金发明的奠基性贡献，同样地，我也认为钛化物的机理对于金属陶瓷(学名应为钛基硬质合金)的发明具有奠基性贡献。而今天，我们把钨钴类硬质合金和钨钴钛类硬质合金合称为钨基硬质合金(俗称“钨钢”)，它在目前是现代金属切削刀具的不可动摇的主力。

以高纯度W和Ti制成的合金。常用的成分为含10%Ti的W-10Ti。......和钛粉经混合、压制和特殊的烧结工艺或用真空热压、热等静压等工艺制成。用作**大规模集成电路薄膜工艺中的溅射靶。钨钛薄膜具有良好的导电性和耐蚀性。

氧含量是钨钛合金性能判定的一项重要指标,氧易在溅射过程中形成细小离子,削弱薄膜阻挡能力,使其使用性能变差

由于纯钨很脆，难以加工，所以钨大多数都是与其他的金属形成合金或以钨的化合物被广泛运用。

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