60年代末，人们以TiCl4为原料，用化学气相沉积在硬质合金基体上制备出氮化钛膜，其反应温度在900-1100摄氏度
氮化钛（TiN）具有典型的NaCl型结构，属面心立方点阵，晶格常数a=0.4241nm，其中钛原子位于面心立方的角**。TiN是非化学计量化合物，其稳定的组成范围为TiN0.37-TiN1.16，氮的含量可以在一定的范围内变化而不引起TiN结构的变化
氮化钛靶材---氮化钛膜是指由钛氮化合物组成的薄膜。氮化钛属于间隙化合物，具有美丽的金光泽，化学稳定性好，熔点高达3000℃，维氏显微硬度为20GPa左右。
由于氮化钛膜的硬度高、红硬性好，并兼有良好的韧性，耐磨性好，能成倍提高硬质合金刀具的寿命，使硬质合金刀具涂筱率很快达到70%以上
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