70年代末，人们用离子镀制成氮化钛膜，沉积温度低于550摄氏度，可镀在高速钢上，使高速钢刀具的涂覆率达到50%以上
氮化钛（TiN）是相当稳定的化合物，在高温下不与铁、铬、钙和镁等金属反应，TiN坩埚在CO与N2气氛下也不与酸性渣和碱性渣起作用，因此TiN坩埚是研究钢液与一些元素相互作用的优良容器。
60年代末，人们以TiCl4为原料，用化学气相沉积在硬质合金基体上制备出氮化钛膜，其反应温度在900-1100摄氏度
氮化钛靶材--TiN粉末一般呈黄褐色，**细TiN粉末呈黑色，而TiN晶体呈金。TiN熔点为2950℃，密度为5.43-5.44g/cm3，莫氏硬度8-9，抗热冲击性好。TiN熔点比大多数过渡金属氮化物的熔点高，而密度却比大多数金属氮化物低，因此是一种很有特色的耐热材料。TiN的晶体结构与TiC的晶体结构相似，只是将其中的C原子置换成N原子。
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