Ni-Cr系合金靶材在溅射镀膜工业中应用广泛，结合材料计算模拟和少量关键实验，定量化地研究了M-Cr系合金材料在热处理过程的相结构、相转变和显微组织特征，以及离子束溅射中入射离子与Ni-Cr系合金靶材固体之间的相互作用
镍铬合金薄膜的3种制备方法:真空蒸发沉积、磁控溅射沉积和离子束沉积;讨论了基底、工作气压、沉积时间等薄膜制备工艺参数以及退火工艺对薄膜性能的影响。
高电阻电热合金（高镍及铁铬铝）、高温合金、精密合金、耐热合金、特种合金、不锈钢等都是常见和常用的镍铬合金.
镍铬合金靶材广泛用途
镍铬合金靶材耐腐蚀，价格低廉，是我国做的多的烤瓷牙内冠。医用镍镉合金，主要由镍、铬及其他少量对人体无害的金属元素组成，镍铬合金靶材对人体的不良影响主要是其中的镍引起的。
镍铬靶材目前比例主要有镍铬80：20 镍铬50：50 镍铬 60：40等 这三种比例常用
当Ni元素的原子含量在20％70％时，均匀化热处理在1200-1300℃之间比较适宜，而均匀化退火时间随退火温度的选取高低而不同，在2～24h的范围内变动。基于随机级联碰撞理论和蒙特卡洛方法，对离子束溅射中入射离子与M-Cr系合金靶材固体之间的相互作用进行模拟的结果表明，由于Ni和Cr的原子表面能较为接近，M-Cr系合金靶材的溅射产物成分与靶材成分不发生明显偏差，有利于靶材成分的选择和薄膜成分的控制
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